北京科创鼎新真空技术有限公司

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2021-06-21







氦质谱检漏仪

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。三.氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸枪法(正压法),氦罩法。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的操作方法,希望对大家有所帮助!









氦质谱检漏仪的主要配置

北京科创鼎新真空技术有限公司(简称:科创真空)是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的专业化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。

1. 检漏仪专用分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱专用模块

以上是科创真空为您一起分享的内容,科仪创新专业生产氦检漏,欢迎新老客户莅临。










氦质谱检漏仪灯丝脆断故障

钨铼丝具有高熔点,高强度、高硬度、高塑性、高的再结晶温度、高电阻率、低蒸汽压、低电子逸出功和低的塑性脆性转变温度等优点。但钨铼丝制作的灯丝极易氧化,在真空、惰性气体中可以保持很长的使用寿命,但在氧化性气氛中容易被碳化,降低其灵敏性并引发脆断,在有氢气存在的情况下,会加速碳化。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离,电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场,离子束在磁场力的作用下,旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极,此种形式称之为磁性偏转分析形式。

氦质谱检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa,灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中,当出现意外情况,系统突然暴露大气或真空度突然降低,导致大量的气体突然进入电离室,真空度≥1x10-1Pa时,灯丝电流急剧增大,灯丝被碳化,就发生了脆断现象。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。

氦质谱检漏仪灯丝寿命如何延长?有前面分析已知,造成氦质谱检漏仪灯丝脆断的原因:1.真空度低;2.灯丝电流过大;3.对灯丝有害的气体气压太高(氧化性气体、水蒸气、氢气)。那么,在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启,或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦质谱检漏仪的灯丝寿命。如:1.使用中尽量将预置真空开关空挡;它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。2.避免电离室泄入有害气体(氧化性气体、水蒸气、氢气)。